一、產品介紹

紫外臭氧清洗機（UVO），是一種簡單，經濟，快速高效的材料表面清洗設備，能快速去除大多數無機基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的有機污染物。

CIF紫外臭氧清洗機采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，樣品臺高度可調并可選加熱控溫，以便達到清洗效果。

二、產品特點

u UVO基礎型采用可編程數字控制器，設置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設置顯示計時時間及加熱溫度。

u 自動補償功能，自動恒定光強光密度，不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。

u 數字倒計時顯示清洗時間，1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。

u 任何時間可以手動中斷處理過程。

u 自動記錄之前清洗參數設置。

u 樣品臺可控溫（可選），控溫范圍RT-220℃，控溫精度0.1℃。

u 頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式，操作簡單方便。

u 上置式樣品臺設計，360度自由放置樣品，操作方便。

u 樣品臺高度可調，通過調節燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。

u UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時。

u 高強度UV燈源，波長185nm和254nm。

u 可累計計時UV格柵燈使用時長，更換提示。

u UV反射罩（長X寬）比UV格柵燈大2.5cm，比如規格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。

u 雙重安全保護，帶有安全鎖，當清洗腔打開時，系統自動關掉UV燈，并有燈光通斷提示。

u 帶進&出氣口雙氣路設計。

u 可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產量。

u UVO5可選外置臭氧中和器，UVO9、UVO12系列可選外置或者內置臭氧中和器，用于臭氧清除。

u 可根據客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。

三、技術參數

注：UVO型基礎型樣品臺不帶加熱功能，樣品臺高度可調；UVOP可選配樣品臺加熱功能，樣品臺高度可調；UVOT標配樣品臺加熱功能，樣品臺高度可調。